AWS A20 Research Platform?測試系統(tǒng)基于聲波傳感原理，可通過石英傳感器頻率變化和導(dǎo)納-頻率特征譜來檢測芯片表面質(zhì)量和結(jié)構(gòu)變化，適用于剛性和粘彈性薄膜。具有倍頻操作模式，可給出薄膜的粘度，彈性模量，粘性模量，厚度等信息。倍頻曲線也可以用來表征薄膜的均勻性，用來評價沉積方法。測試頻率高達(dá)160MHz，靈敏度可達(dá) 0.05ng/cm2。
品牌：AWSensors
型號：AWS A20 RP
類型：AWS多參數(shù)石英晶體微天平
1、腐蝕研究
2、電鍍研究
3、沉積層厚度測試
4、鋰離子電池評價
5、表面涂層研究
6、納米粒子吸脫附
7、離子和溶劑的傳輸
8、表面活性劑去污能力評價
傳感器通道數(shù) | 1-4 個 |
頻率范圍 | 5-160MHz |
頻率分辨率 | 0.001Hz |
頻率穩(wěn)定性 | ±0.05ppm ，0 - 50°C范圍內(nèi) |
相位分辨率 | ＜0.001° |
振幅分辨率 | 0.15mV |
傳感器晶體 | 5MHz/10MHz，直徑14mm ，AT切割，最高13倍頻 |
質(zhì)量靈敏度 | 0.05ng/cm2 |
耗散靈敏度 | ~3×10-8 |
溫度范圍 | 20-40°C ，軟件控制，精確度為0.01°C |
尺寸/重量 | 32×75×45cm（HWD）/25Kg |
分析模型 |
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樣品池采用專利的Q-Lock設(shè)計，該設(shè)計可控制傳感器上方的壓力以保證高頻率測試時的穩(wěn)定性與高低頻諧波的最小失真，同時操作簡單方便可避免操作誤差，無論多少次開關(guān)樣品池，測試都將是重復(fù)可靠的。同時AWS可提供整套的EQCM實驗方案，通過增加電化學(xué)樣品池與配套電化學(xué)工作站，AWS Suite?軟件可實時同步采集兩者信號，完美實現(xiàn)電化學(xué)與QCM的同步測試。
